Acton Optics的准分子激光器及紫外激光器反射镜是多层电介质膜镜片，是为高能量准分子激光器设计的。多层电介质膜可以同时提供高损伤阈值和优秀的反射率。Acton有40多年的准分子激光器镜片镀膜经验，可以设计出满足光谱、偏振、应用等方面的要求。
准分子激光镜片可以批量生产，这样可以保证价格具有竞争力。
我们可以在Acton标准的镜片白片、客户定制的基底、客户提供的材料上镀膜。如有需求，请与我们联系。
优势
l 高损伤阈值
l 长寿命
l 多种镀膜可供选择
l 覆盖所有的准分子激光波长： 157nm, 193nm, 248nm, 308nm, 353nm
应用领域
l 准分子激光视觉校正系统 (LASIK)
l 半导体激光光刻系统
l 材料加工应用
相关参数
波长 | 反射率 | 1英寸直径 | 2英寸直径 |
126nm | ≥ 55% @ NI | M126-FR-1D-MB | M126-FR-2D-MB |
≥ 50% @ 45° AOI | M126-FR45-1D-MB | M126-FR45-2D-MB |
147nm | ≥ 75% @ NI | M147-FR-1D-MB | M147-FR-2D-MB |
≥ 70% @ 45° AOI | M147-FR45-1D-MB | M147-FR45-2D-MB |
157nm | ≥ 89% @ NI | M157-FR-1D-MB | M157-FR-2D-MB |
≥ 87% @ 45° AOI | M157-FR45-1D-MB | M157-FR45-2D-MB |
172nm | ≥ 93% @ NI | M172-FR-1D-MB | M172-FR-2D-MB |
≥ 90% @ 45° AOI | M172-FR45-1D-MB | M172-FR45-2D-MB |
193nm e | ≥ 98% @ NI | M193-FRe-1D-MB | M193-FRe-2D-MB |
≥ 97% @ 45° AOI | M193-FR45e-1D-MB | M193-FR45e-2D-MB |
193nm XL | ≥ 97% @ NI | M193-FRXL-1D-MB | M193-FRXL-2D-MB |
≥ 96% @ 45° AOI | M193-FRXL45-1D-MB | M193-FRXL45-2D-MB |
248nm | ≥ 98% @ NI | M248-FR-1D-MB | M248-FR-2D-MB |
≥ 97% @ 45° AOI | M248-FR45-1D-MB | M248-FR45-2D-MB |
308nm | ≥ 98% @ NI | M308-FR-1D-MB | M308-FR-2D-MB |
≥ 97% @ 45° AOI | M308-FR45-1D-MB | M308-FR45-2D-MB |
353nm | ≥ 99% @ NI | M353-FR-1D-MB | M353-FR-2D-MB |
≥ 98% @ 45° AOI | M353-FR45-1D-MB | M353-FR45-2D-MB |
