镜头： | 外径 D | 最大设计角度A | 最大量程R * | 最小光斑直径S* (C50 光纤) | 工作距离C | 分辨率 * | 总长L |
单位 | mm | 度 | mm | um | mm | nm | mm |
D15A32R06S3 | 15 | ±32°镜面 | 0.65 | 3.4 | 6 | 2 | 140.5 |
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| （±0.32） |
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D15A32R03S3 |
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| 0.32 |
| 6.2 | 1 |
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| （±0.16） |
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D15A32R01S3 |
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| 0.16 |
| 6.2 | 1 |
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| （±0.08） |
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* 量程、角度、光斑尺寸、分辨率均为设计理论值，请按实际测量案例评估。
| D15A32微观形貌 |
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| 样品号 | 位置 | 类型 | 判定 | 测量值(um) | 上限 | 下限 | 单位 | 编程员 |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.30776 | 10000 | 0 | um | real |
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| 控制器型号：H4UC |
| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.33567 | 10000 | 0 | um | real |
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| 镜头：D15A32 |
| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.31813 | 10000 | 0 | um | real |
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| 扫描频率：4000HZ |
| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.3086 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.31139 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.32389 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.31218 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.35061 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.32374 | 10000 | 0 | um | real |
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| D15A32微观形貌 | 位置1 | 平均厚度 | 合格 | 6.31207 | 10000 | 0 | um | real |
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| 重复精度 | 0.04285 |
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软件截图：
现场照片：
| D15A32静态跳动 |
| 静态跳动 |
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H4UC
D15A32 | 单位：um |
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| 重复精度：0.028 | 0.009 |
| D15A32粗糙度 |
| H4UC-D15A32R06S2.8-3 | RA3.2 | 标准RZ | 12.5(um) | 实际RZ | 12.974(um) | 差值 | 0.474(um) |
