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扩展 ISO 类 1，10nm 内联 N2 电离器型号 4214
按功能[内联电离器]
型号 4214 电离器即使在高纯度 N2 环境中也能支持"扩展 ISO 1，10nm"的高清洁度，并实现出色的离子平衡。
特点
规格
| 输入电压 | 24V DC+/-5% 6W Typ. |
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| 离子平衡 | <+/-25V 150mm 距离 40LPM 无管道连接 |
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| 除静电时间 | < 10sec 150mm 距离 40LPM 无
管道连接 +/-1kv → +/- 100v 带充电板监视器 |
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| 离子生成方法 | 电晕放电式 高频交流方式 |
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| 清洁度 | ISO Class1，0.1 micron"扩展 ISO 类 1，10nm"* |
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| 电极 | 单晶硅可互换 |
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| 兼容的净化气体 | N2 > 99.998% |
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| 流量 | 40LPM(36.5Kpa)～90LPM(171kpa) |
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| 最大清除压力 | 207Kpa（=100LPM 流量） |
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| 最大气体温度 | 60deg C |
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| N2 清除连接 | Swagelok3/8" OD 配管 |
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| 电离N2连接 | 1/4NPT 母螺钉连接器或选件接头
28-25710-SC 上的 Swagelok1/2" OD 管道连接 |
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| 工作温度范围 | 15～60deg C |
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| 信号输出 | 通过打开/关闭触点发出警报和离子降低输出 |
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| 尺寸 | 长度 152.4mm x 宽度 72.4mm x 深度 32mm
不包括管道部分 |
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| 重量 | 640g |
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| 外部 | 不锈钢 |
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| 如何安装 | 背面M5螺钉 螺纹长度小于10mm |
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对于
扩展 ISO 类 1，10nm，这是 ION 系统为支持微粒子管理而单独定义的清洁度的定义。 ISO14644-1 以最小颗粒直径 100nm 定义。 扩展 ISO 类 1，10nm 使用与 ISO 14644-1 相同的允许粒子数的计算公式，允许颗粒数为 1200pc/m3（34 pc/ft3），粒径为 10nm 或更高。
