钨灯丝扫描电子显微镜EVO 18总体描述
EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计,提供高真空成像功能,可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件,样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。
钨灯丝扫描电子显微镜EVO 18产品应用
扫描电镜(SEM)广泛地应用于金属材料(钢铁、冶金、有色、机械加工)和非金属材料(化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维)等检验和研究。在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
钨灯丝扫描电子显微镜EVO 18产品参数
分辨率 | 3.0 nm @ 30 KV (SE 与W) 4.0 nm @ 30 KV (VP with BSD ) |
加速电压 | 0.2-30KV |
放大倍数 | 5-1000000 x |
探针电流 | 0.5PA-5μA |
X-射线分析工作距离 | 8.5mm 35度接收角 |
低真空压力范围 | 10-400Pa(选配10-750Pa、LS10:环扫模式10-3000pa) |
工作室 | 365mm (Φ) x 275 mm (h) |
5轴优中心自动样品台 | X=125mm Y=125mm Z=50mm T= -10°- 90° R=360°(l连续) |
较大试样高度 | 145mm 大试样直径:250mm |
系统控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM 操作系统 |