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概述
配备 DSP(数字信号处理器),通过独特的信号计算实现稳定的测量
,利用
超声波测量流体流速,并从流速计算流速。
在流量的上游和下游安装传感器,根据从每个传感器向正向和反向传输时的超声波传播时间差确定流速,并将其转换为流量。
○配管内没有结构物 ,因此可在压力损失最小的条件下进行流量测量。
• 可以测量从低流速到高流速的宽范围。
特点

• 配备 DSP(数字信号处理器),通过独特的信号计算实现稳定的测量

- 可在一个转换器中连接两个不同尺寸的探测器
由于每台转换器最多可连接两个探测器,因此在多点流量测量设备上节省空间且经济高效的设备。 除了测量不同流体的流量外,您还可以连接不同尺寸的探测器。

显示单元采用 VFD 显示
显示屏采用 VFD(荧光显示管),
能见度极佳。 [仅限 HLF820]

●对应高温药液的流量测量
适应近年来多样化的化学溶液和流体温度。 所有液体接触部分均采用新的 PFA,具有优异的耐化学性。 此外,内部开发的传感器使探测器能够应对高达 200°C 的流体温度。 (K型)
※04型至180°C。

采用可拆卸电缆。 易于布线
由于来自检测单元的布线电缆是可拆卸的,因此在将其安装到设备后,可以顺利布线。 此外,电缆长度可从 5 米和 7 米中选择。

• 通过 RS-485 通信在 PC 上进行远程监控
RS-485 通信是标准配置。 使用管理软件 (HLF800 Monitor),可以在 PC 上读取参数设置和测量数据,并远程监控流量。
用途
半导体工艺中纯水和超纯水的流量测量
,以及各种化学处理工艺(如腐蚀性化学溶液应用)的流量管理和
CMP(化学机械 Polishing)浆料的流量测量
规格
探测器型号

转换器
类型表达式 | HLF810 | HLF820 |
测量方法 | 超声波传播时差方法 |
数据刷新周期 | 0.01 秒 |
电源 | 电压 | DC24V ±10%(21.6~26.4V) |
功耗 | 约 4W | 约 5W |
显示 | - | VFD(荧光管)16 个字符 x2 行 |
数字输入 | 开路集电极输入或无电压触点输入 2点 累计值复位、0点调整中选择 |
输出 | 4-20mA 电流输出 | 2 点 分辨率:12 位(最大负载电阻 600Ω) |
数字输出 | 开路收集器输出(MAX35V/0.1A)2点 比较、累计脉冲、瞬时频率、错误输出选择 |
接口 | RS-485(MODBUS 协议、RTU 模式) 32 个可连接(地址为 1 到 32) 通信速度:9600、19200、38400、57600bps |
外壳材料 | ABS |
使用的环境温度 | 0 至 50°c(无冷凝) |
质量 | 130g | 230g |
如何安装 | DIN 导轨 | 面板 |
探测器
类型表达式 | HLFS01-04 | HLFS01-06 |
测量对象 | 超纯水 / 纯净水 / 化学溶液 |
测量流量范围 | 0~2L/min | 0~6L/min |
连接管尺寸 | 1/4" | 3/8" |
精度*1 | 测量流量 | 小于 0 至 800 mL/min | 800~2000mL/min | 小于 0 至 2000 mL/min | 2000~6000mL/min |
流量精度 | ±8mL/min | ±1% R.D. | ±20mL/min | ±1% R.D. |
压力 | 0.5MPa (0~90℃) / 0.2MPa (90~200℃) |
流体温度 | 标准 | 0~90℃ |
高温 | 0~180℃ | 0~200℃ |
使用的环境温度 | 0~80℃ |
液体接触材料 | NEW PFA |
质量 | 90g | 110g |
固有损耗系数 | 3.7863 | 0.0937 |
类型表达式 | HLFS01-08 | HLFS01-12 |
测量对象 | 超纯水 / 纯净水 / 化学溶液 |
测量流量范围 | 0~20L/min | 0~50L/min |
连接管尺寸 | 1/2" | 3/4" |
精度*1 | 测量流量 | 小于 0 至 4.3L/min | 4.3~20L/min | 0 至 11.8 升/分钟以下 | 11.8~50L/min |
流量精度 | ±43mL/min | ±1% R.D. | ±118mL/min | ±1% R.D. |
压力 | 0.5MPa (0~90℃) / 0.2MPa (90~200℃) |
流体温度 | 标准 | 0~90℃ |
高温 | 0~200℃ |
使用的环境温度 | 0~80℃ |
液体接触材料 | NEW PFA |
质量 | 130g | 160g |
固有损耗系数 | 0.1146 | 0.0.0138 |
类型表达式 | HLFS01-16 |
测量对象 | 超纯水 / 纯净水 / 化学溶液 |
测量流量范围 | 1" |
连接管尺寸 | 1/2" |
精度*1 | 测量流量 | 小于 0 至 20L/min | 20~80L/min |
流量精度 | ±200mL/min | ±1% R.D. |
压力 | 0.5MPa (0~60℃) / 0.2MPa (60~200℃) |
流体温度 | 标准 | - |
高温 | 0~200℃ |
使用的环境温度 | 0~80℃ |
液体接触材料 | NEW PFA |
质量 | 220g |
固有损耗系数 | 0.0033 |
*1 纯水 20°c 重复精度在我们的测试环境中
各检测器固有损耗系数A(20°C纯水)
≥P=AQ2≥P:压力损失[KPa]A:固有损失系数Q:流量[L/min]
转换器 - 探测器连接电缆
类型表达式 | HLFS01 电缆 5m | HLFS01 电缆 7m |
材料 | ETFE |
长度 | 5m | 7m |
质量 | 150g | 210g |