Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式“Block”气体棒和面板设计,能够满足如今300 mm 工具的要求。该型号占用空间仅11/8″,能节省宝贵的空间;结构坚固,是要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测量的理想选择。与其他采用大体积封头腔室的产品不同,Setra 227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不锈钢制造,且表面钝化抛光至5 Ra(最大7 Ra),确保表面平整且耐化学腐蚀,实现无污染气体输送。
■ 泄露率低
■ VCR 接头
■ 易于吹扫的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不锈钢
·表面抛光度7 Ra
·VCR 接头
·1×10-9 ATM.CC/sec 级别的氨渗漏实验
·抗电磁干扰/ 射频干扰,可防止误停机
·4-20mA 输出型获得不易燃认证,适用于潜在危险区域
·符合CE 标准要求
·符合RoHS 标准要求
应用
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
常用型号
227G025PAE51106J 227G050PAE51106J 227G100PAE51106J 227G150PAE51106J 227G250PAE51106J 227G1000PAE51106J
227G3000PAE51106J 227G1R7BAE51106J 227G3R4BAE51106J 227G007BAE51106J 227G1017BAE51106J 227G035BAE51106J
227G070BAE51106J 227G2500BAE51106J 227GZ01PCE51106J 227GZ02PCE51106J 227GZ03PCE51106J 227GZ05PCE51106J
227G10CTAE51106J 227G20CTAE51106J 227G025PAE51106F 227G050PAE51106F 227G100PAE51106F227G150PAE51106F
227G250PAE51106F 227G1000PAE51106F 227G3000PAE51106F 227G1R7BAE51106F 227G3R4BAE51106F 227G007BAE51106F
227G1017BAE51106F 227G035BAE51106F 227G070BAE51106F 227G2500BAE51106F 227GZ01PCE51106F 227GZ02PCE51106F
227GZ03PCE51106F 227GZ05PCE51106F 227G10CTAE51106F 227G20CTAE51106J