超小检测头 高功能智能控制器
 ※1 |  ※2 |
用途
| 晶圆盒内的晶圆检测 |
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超小型检测头
兼具高性能和超小型体积。节省空间，有助于减小设置空间。
实现了分辨率4μm的高精度判别
具有4μm(平均次数64次)的高分辨率，可实现高精度的定位和尺寸判别。
采用重视安全性的1级激光
采用1级激光(JIS/IEC)，无需安全措施。可放心使用，就如使用光电传感器。
长距离检测
实现了HL-T1005A(F)及HL-T1010A(F)500mm、HL-T1001A(F)2m的长距离检测。
细微的光量差异也能进行高精度判别
由于可判别细微的光量差异，玻璃的透明程度和液体的混浊程度也能准确判别。可用百分比显示入光量，因此也能对透射率进行判定。 |
最小检测物体φ8μm HL-T1001A光束直径φ1mm的激光，可以检测集成电路的接线等微米级的微细物体。 |
备有FDA标准适用型号备有适用于美国出口机械的FDA标准的型号。 [FDA：2级、JIS/IEC：1级] 满载便捷功能标准受光量设定/自动定标/计测处理(各种定时器功能·各种保持功能)/微分/焦点监控 等，小巧紧凑的体积内装备了丰富多样的功能。 可适用于各种各样的用途。 可进行2个传感器的运算只需在控制器之间连接运算单元(选购件)，即可进行2个传感器的运算(加法、减法)。无需数字式面板控制器。 |
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模拟电流/电压输出可切换模拟输出可在电流(4～20mA)/电压(±4V)二者之间切换使用。利用焦点监控功能，可选择±5V或0～5V的模拟电压输出范围，以适合各种各样的连接设备。 焦点监控功能有3种教导方式可自由设定线性输出范围(电流4～20mA/电压±4V)。通过并用线性输出的电流/电压切换，可以适应各种各样连接设备的规格。可进行3种教导方式：定位教导/2点教导/自动教导。 适合形形色色现场的各种各样用途。 实现优异的操作性可边观察数字显示，边操作十字键，轻松进行所有设定。 检查激光二极管的老化可对激光二极管的老化进行自诊断。检出老化(使用寿命)时，会在主数字显示屏上指示出错。可将故障防范于未然。 能轻松确认判别分辨率设定为分辨率显示模式时，即可轻松确认分辨率。利用显示的分辨率，可轻松掌握阈值设定的充余度，正确进行可否检测的判断。 |
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种类
检测头
| (注1)：产品的铭牌上所标记的型号带“P”符号的机型为投光器，带“D”符号的机型为受光器。(例)HL-T1001A的投光器：HL-T1001AP，HL-T1001A的受光器：HL-T1001AD |
附件
| MS-HLT1-1［HL-T1001A(F)／HL-T1005(F)用检测头安装支架］(注1)附带2个垫圈的M3螺丝(长20mm) | MS-LA3-1［HL-T1010A(F)用检测头安装支架］(注1)附带2个垫圈的M3螺丝(长25mm) | CN-HLT1-1(检测头与控制器的连接电缆)：可选件 |
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(注1)：如果投光器和受光器需要同时安装，则需要2套。
控制器
侧视界附件HL-T1SV1HL-T1SV2 |
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控制器安装支架MS-HLAC1-1 |
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延长电缆HL-T1CCJ4HL-T1CCJ8 |
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检测头
| 种类 | 光束直径φ1mm型 | 检测宽度5mm型 | 检测宽度10mm型 |
| 型式名 | JIS/IEC标准符合型 | HL-T1001A | HL-T1005A | HL-T1010A |
| FDA标准符合型 | HL-T1001F | HL-T1005F | HL-T1010F |
| 组合控制器 | HL-AC1、HL-AC1P |
| 检测距离 | 0〜500mm | 500〜2,000mm | 500mm |
| 检测宽度 | φ1mm | φ1〜φ2.5mm | 5mm | 10mm |
| 最小检测物体 | φ8μm不透明体 | φ50μm不透明体 | φ0.05mm不透明体 | φ0.1mm不透明体 |
| 重复精度(半遮光状态) | 4μm(注2) | - | 4μm(注2) |
| 线性输出分解能(注3) | 4μm(注2)(注4) |
| 4μm(注2) |
| 投光指示灯 | 绿色LED(投光时点灯) |
| 干渉防止功能 | 最多2台传感器可紧贴安装(使用控制器防干扰功能时) |
| 环境性能 | 使用环境温度 | 0〜+50℃(注意不可结露)、存储时：-25〜+70℃ |
| 使用环境湿度 | 35〜85%RH、存储时：35〜85%RH |
| 使用环境照度 | 白炽灯：受光面照度10,000lx以下 |
| 耐电压 | AC 1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 |
| 绝缘电阻 | DC250V高阻表测量100MΩ以上 所有电源连接端子与外壳之间 |
| 耐振动 | 频率10〜500Hz 双向振幅1.5mm XYZ各方向2小时 |
| 耐冲击 | 加速度300m/s2(约30G) XYZ各方向3次 |
| 投光元件 | JIS/IEC标准符合型 | 红色半导体激光 1级(JIS/IEC)(调制式、最大输出：0.2mW投光波峰波长：650nm) | 红色半导体激光 1级(JIS/IEC)(调制式、最大输出：0.35mW投光波峰波长：650nm) |
| FDA标准符合型 | 红色半导体激光 II级(FDA)(调制式、最大输出：0.2mW投光波峰波长：650nm)(JIS/IEC：1级) | 红色半导体激光 II级(FDA)(调制式、最大输出：0.35mW投光波峰波长：650nm)(JIS/IEC 1级) |
| 材质 | 本体外壳：聚醚酰亚胺、外罩：聚碳酸酯、正面防护罩：玻璃 |
| 电缆 | 0.09mm2 3芯连接器付单芯屏蔽电缆0.5m |
| 电缆延长 | 用延长电缆(另售)，全长可延长至10m |
| 重量 | 本体重量：投・受光器各约15g | 本体重量：投光器约30g(受光器 约20g) |
| 附件 | MS-HLT1-1(检测头安装支架)：投光用、受光用2个1套CN-HLT1-1(检测头与控制器的连接电缆)：1根光轴调节封条：2块、成套标签(仅FDA标准符合型)：1套ト | MS-LA3-1(检测头安装支架)：投光用、受光用2个1套CN-HLT1-1(检测头与控制器的连接电缆)：1根 光轴调节封条：2块成套标签(仅FDA标准符合型)：1套ト |
(注1)：无指定时的测量条件为使用环境温度=+20℃。(注2)：平均次数为64次时的值。(注3)：将连接到控制器时的线性输出的波动幅度(±3б)换算成检测宽度的值。(注4)：假设检测宽度φ1mm型的中心附近被最小检测物体遮住光束，将线性输出的波动幅度(±3б)换算成检测宽度的值。
运算单元
| 型号 | HL-AC1-CL |
| 接続控制器 | HL-AC1、HL-AC1P |
| 消耗电流 | 12mA以下(由控制器供电) |
| 连接方式 | 连接器 |
| 连接指示灯 | 橙色LED(控制器接続时点灯) |
| 环境性能 | 使用环境温度 | 0〜+50℃(注意不可结露)、存储时：-15〜+60℃ |
| 使用环境湿度 | 35〜85%RH、存储时： 35〜85%RH |
| 耐电压 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 |
| 绝缘电阻 | 所有电源连接端子与外壳之间，100MΩ以上，基于DC500V的高阻表 |
| 耐振动 | 频率10〜150Hz 双向振幅0.7mm XYZ各方向80分 |
| 耐冲击 | 加速度300m/s2(约30G) XYZ各方向3次 |
| 材质 | 外壳：ABS、显示屏： 丙烯 |
| 重量 | 本体重量：约50g |
(注1)：无指定的测量条件为使用环境温度＝+20℃。
控制器
| 种类 | NPN输出型 | PNP输出型 |
| 型号 | HL-AC1 | HL-AC1P |
| 适用检测头 | HL-T1001A/T1001F、HL-T1005A/T1005F、HL-T1010A/T1010F |
| 电源电压/消耗电流 | 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下/190mA以下(连接检测头时) |
| 测量周期 | 150μs |
| 线性输出 | 电流/电压输出切换式(注2)・电流输出时：4〜20mA/F.S 最大负载电阻300Ω・电压输出时：±4V/F.S 输出阻抗100Ω(通过焦点监控功能，也可设定±5V、 0～5V等范围) |
| 温度特性 | ±0.2%F.S./℃(注3) |
| 可设定平均次数(注4) | 1/2/4/8/16/32/64/128/256/512/1,024/2,048/4,096 |
| 判定输出(HIGH、PASS、LOW) | NPN开路集电极晶体管・最大流入电流：50mA・外加电压：30V DC以下(判定输出和0V之间)・剩余电压：1.2V以下(流入电流为50mA时) | PNP开路集电极晶体管・最大流出电流：50mA・外加电压：30V DC以下(判定输出和+V之间)・剩余电压：2V以下(流出电流为50mA时) |
| 输出数 | HIGH/PASS/LOW 3値输出 |
| 输出动作 | HIGH：测量值＞HIGH阈值时ONPASS：HIGH阈值≧测量值≧LOW阈值値ONLOW：LOW阈值＞测量值时ON |
| 短路保护 | 配备 |
| 激光OFF输入 | 连接0V：激光投光停止开路：激光投光・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) | 连接+V：激光投光停止开路：激光投光・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) |
| 零点复位输入 | 连接0V：零点复位动作 开路：零点复位无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) | 连接+V：零点复位动作开路：零点复位无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) |
| 同步输入 | 连接0V：有效开路：无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) | 连接+V：有效开路：无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) |
| 复位输入 | 连接0V：有效开路：无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) | 连接+V：有效开路：无效・外加电压：30V DC以下(漏电流0.1mA以下) |
| 指示灯 | 激光投光(LD ON) | 绿色LED(激光投光时亮起) |
| 判定输出 | HIGH：橙色LED(测量值＞HIGH阈值时亮起)PASS：绿色LED(HIGH阈值≧测量值≧LOW阈值时亮起)LOW：黄色LED(LOW阈值)＞测量值时亮起) |
| 启动(ENABLE) | 绿色LED(正常动作时点灯) |
| 零点复位(ZERO) | 绿色LED(零点复位功能有效时点灯) |
| 主数字显示屏 | 5位红色LED[RUN模式：显示测量值(mm)或保持值，反向模式：使显示方向反向] |
| 副数字显示屏 | 5位黄色LED[RUN模式：显示分辨率或受光量， THR模式：显示阈值，反向模式：使显示方向反向]] |
| 主要功能 | ・测量值显示 ・样品保持 ・接通延迟定时器・自动教导 ・键锁功能・显示设定值、光量值・峰值保持・断开延迟定时器・应差宽度可调・零点复位存储 ・标准受光量设定功能 ・谷值保持・单触定时器 ・焦点监控 ・自动定标・峰值 to 峰值保持 ・微分 ・非测量时设定 ・定标・自我峰值保持 ・灵敏度选择 ・(A-B)运算(注5)・显示反向 ・自我谷值保持 ・阈值直接设定・(A+B)运算(注5) ・显示ECO ・零点复位・定位教导 ・防止干扰(注5) ・变更显示位数・初始复位・2点教导 ・激光老化检测 |
| 环境性能 | 使用环境温度 | 0〜+50℃(注意不可结露)、存储时：-25〜+65℃ |
| 使用环境湿度 | 35〜85%RH、存储时：35〜85%RH |
| 耐电压/绝缘电阻 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间/所有电源连接端子与外壳之间，20MΩ以上，基于DC500V的高阻表 |
| 耐振动/耐冲击 | 频率10〜150Hz 双向振幅0.7mm XYZ各方向80分/加速度300ｍ/s2(约30G) XYZ各方向3次 |
| 材质 | 外壳：聚对苯二甲酸乙二醇酯、透明罩：聚碳酸酯 |
| 输入・输出电缆 | 0.09mm2芯合成电缆，长2ｍ |
| 输入・输出电缆延长 | 0.09mm2以上的电缆全长可延长至10m(注6) |
| 重量 | 本体重量：约140g |
(注1)：无指定的测量条件为使用环境温度＝+20℃。(注2)：通过位于控制器底面的开关切换电流/电压。(注3)：连接检测头时的典型示例。(注4)：判定输出及线性输出的反应时间为(测量周期)×(设定平均次数+1)。(注5)：需要运算单元。(注6)：延长距离超过10m时，将不符合CE标志。
本产品为JIS/IEC标准的1级激光产品以及FDA标准(21 CFR 1040.10)的Ⅱ级激光产品。该产品存在一定危险，请勿通过透镜等观察光学系统进行观察。
HL-T1001A（F）HL-T1005A（F）
检测头
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| (注1)：JIS/IEC标准符合型无光束遮光板以及照明、识别标签。(注2)：HL-T1001A(F)的受光器无插槽。 |
HL-T1001AHL-T1001F
检测头
HL-AC1HL-AC1P
控制器
HL-AC-CL
运算单元(另售)
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| (注1)：JIS/IEC标准符合型无光束遮光板以及照明、识别标签。 |
MS-HLT1-1
HL-T1001A(F)／ HL-T1005A(F)用检测头安装支架［HL-T1001A(F)／ HL-T1005A(F)附带］
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| 材质：SPCC(光泽镀锌)附带2个带垫圈的M3螺丝(长20mm) |
MS-HLT1-1
安装图
MS-LA3-1
HL-T1010A(F)用检测头安装支架［HL-T1010A(F)附带］
MS-LA3-1
安装图
MS-HLAC1-1
控制器安装支架(另售)
CN-HLT1-1
检测头、控制器连接电缆(检测头附带)
HL-T1SV1
HL-T1001A(F)/HL-T1005A(F)用侧视界附件(另售)
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| 材质： 聚醚酰亚胺(外壳)玻璃(前罩)附带2个带垫圈的M2螺丝(长6mm) |
HL-T1SV1
安装图
HL-T1SV2
HL-T1010A(F)用侧视界附件(另售)
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| 材质： 聚醚酰亚胺(外壳)玻璃(前罩)附带2个带垫圈的M2螺丝(长6mm) |
HL-T1SV2
安装图
