台式
采用了无风TRINC (完全无风动作),是可以不起风,不卷起灰尘的理想的除静电装置。
最高水准的离子平衡让高精度、高品质除静电成为可能,另外,超短带电衰减时间也帮
助实现了超高速除静电。装载着以控制理论为基础,具有完美的高可靠性的精确反馈控制系统。
离子平衡器
离子平衡器NWM TAS-182NWM
无风TRINC
可以组装在机器里、超小型高精度机型
■ 高精度除静电
■ 超小型
■ 可以无风TRINC
■ 低耗能
■ 适应SUS制房屋的无尘环境
■ 可嵌入组装到半导体制造装置内
■ 其他通用