兼容真空的静电势传感器（KS-3101）
由于吸收静电的气体成分在真空中被稀释，因此与大气压环境相比，静电会导致更严重的生产问题。
兼容真空的静电势传感器是一种传感器，可通过使用可在真空环境中使用的材料和材料来测量真空中产生的静电。请使用它来确定真空过程中产生静电的原因，并持续监控静电势。
各种特征
大气压和真空度的线性
该图示出了用KS-3101测量在真空室中施加有任意电压的充电板的电位的结果。即使在不同的压力环境下（真空下为10-3Pa，大气压下为10 + 5Pa），也无需校准即可获得相等的测量值。
*此数据为实际测量值，而非保证值。
使用兼容真空的静电势传感器测量对真空室的影响
●废气分析比较
对传感器发出的废气的分析证实，气体的主要成分是水和痕量的碳氢化合物。由于每个峰都与在背景中测得的峰相同，因此认为它是来自环境中吸附在传感器表面的气体。
●极限真空度的比较
排气装置：大阪真空设备制造株式会社制造的涡轮分子泵TG220FCAB
排气速度：220 L / sec（N2）
腔室尺寸：φ300x L 300 mm
*此数据为实际测量值，而非保证值。
规范
| 模型 | KS-3101 |
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| 检测方式 | 振动式表面电位传感器 |
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| 推荐真空度 | 10 5 Pa（大气压），10 -1至10 -5 Pa |
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| 测量范围 | 高压范围：0至±20.0 kV（测量距离100毫米） LOW范围：0至±2000V（测量距离10mm） |
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| 测量精度 | ±10％以内 |
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| 报警 | 检测传感器故障LED显示 |
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| 使用环境 | 温度0-40℃，湿度65％以下（无结露） |
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| 大众 | 约100克（不包括电缆和控制盒） |
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| 成分要领 | 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1 m，可扩展） 控制箱：KS-3101-B05（带5M大气侧电缆，可扩展） 控制器：KSD-0110或KSD-0120 |
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| 选项 | 真空法兰 |
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宪法
控制者
| KSD-0110 | KSD-0120 |
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| 与触摸屏和SD卡兼容的高性能类型 | 强调可见性的简单类型 |
*请在每页上检查控制器KSD-0110和KSD-0120的规格。
尺寸/零件名称
（1）测量单元（
2）调零单元
（3）外壳（不锈钢镜面涂层）
（4 ）安装垫片（特氟龙）（
5 ）范围选择开关
（6）操作/故障指示灯
（7）充电指示灯（0，+，-）
（8 ）专用电缆（带接头）
