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真空等离子表面处理机 橡胶大气等离子 手机表面应力提升机
¥
188000
≥1台 起批
广东-东莞
产品参数
型号
YX-VP90 Plasma
接收定制服务
5L,10L,30L,90L,120L,200L
产品参数
型号
YX-VP90 Plasma
接收定制服务
5L,10L,30L,90L,120L,200L
主机体尺寸
900(W)×1720(H)×1000(D)mm
重量
标准机型:450KG
真空室规格
450(W)*470(D)*450(H)mm
材料
进口航空镁铝合金
电极板规格
405(w)*380(d)mm
层数及间距
8层水平分布,间距45mm
真空泵
ULAVC-60m3/h
全自动控制
西门子PLC+MCGS触摸屏,全中文
功率@频率
RF电源 500W@13.56MHz
气体流量计
S-STAR 2通道0-300sccm
输入气压监测
2路进气SMC气压表(含过滤、低压报警)
真空计
ULAVC真空计
破真空阀门
日本CKD气动阀门
挡板阀
高真空进口挡板阀KF40
电磁阀
2路日本SMC进气真空电磁阀
控制方式
德国西门子PLC & 人机界面
电力
三相五线AC380 50/60Hz
压缩空气
0.4-0.6MPa
工艺气体
O2 N2 H2 Ar
排气管道接口
KF40
单次处理时间
工艺不同,处理时间不同,表面活化改性3-10min
工作真空度
20-50Pa
真空泵极限压力
5.0*10~-1 Pa
抽真空时间
≤80S
破真空时间
≤20S
等离子电源功率
500W
流量计调节范围
300sccm
稳定功率
4KW
机台供电
AC380 50/60Hz
腔体容积
90L(450*470*450)mm
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东莞市易效智能科技有限公司
3
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