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等离子体增强化学气象沉积系统 (PECVD)厂家
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8888
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江苏-昆山-开发区六时泾路
产品参数
控温精度
±1℃
升温速率
≤20℃/min
产品参数
控温精度
±1℃
升温速率
≤20℃/min
工作温度
≤1100℃
加热区长度
440mm
恒温区长度
200mm
石英管尺寸
L1400mm Φ(60、80、100)
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上海微行炉业有限公司
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PECVD
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