砷化镓VGF单晶生长炉厂家_砷化镓VGF单晶生长炉制造商供应商 工艺研发
￥200000
≥1台 起批
山东-青岛
产品参数
- 方式 左/右手操作方式，垂直提拉
- 可配工艺管数量 1管系统
产品参数
- 方式 左/右手操作方式，垂直提拉
- 可配工艺管数量 1管系统
- 送料方式 手动
- 使用类型 3-6寸炉管
- 可加工砷化镓晶体尺寸 3-6寸
- 装料量 10KG/炉
- 温区长度 400-800mm
- 工作温度 600～1310℃
- 炉管有效口径 ￠100-180mm
- 升降行程 1000mm
- 升降速率max 1mm/min
- 总功率 12-25KVA/管 保温功率：6-12KVA/管
- 三相五线制 380V±10%，50Hz±10%，次级线不小于35平方高温线
- 报警 具有超温报警，断偶报警，气体互锁等功能
- 恒温区长度及段数 高温区500mm（8段控温）低温区300mm（3段控温）
- 控温精度 ±0.5℃（≧1200℃）
- 单点温度稳定性 ±1℃/12h
- 控温方式 电脑+ PLC控制
- 热偶类型 热电偶采用S/R型，每管Spike 4-7支热偶
- 可控升温范围max (600～1300℃)0--15℃/min
- 可控降温范围max (1300～600℃)0--10℃/min
- 设备总外形尺寸 根据设备配置不同,尺寸有所不同
4年
企业认证
