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化学反应扩散炉_青岛育豪_氧化扩散炉_加工工厂 全自动化操作 上手简单
¥
200000
≥1台 起批
山东-青岛
产品参数
品牌
青岛育豪
产地
山东 青岛
产品参数
品牌
青岛育豪
产地
山东 青岛
加工定制
是
型号
CY-R1000-100IT
max电压
220
功率
7.2K
额定温度
1100
主要用途
快速热退火 ,快速热氧化,快速热氮化,硅化,扩散, 化合物半导体退火,离子注入后退火,电极合金化等
产品认证
CE
是否进口
否
是否跨境货源
否
别名
小批量生产晶圆热加工炉
适用范围
大气压加工、退火、氧化、扩散、LPCVD(低压化学气相沉积)、PECVD(等离子增强化学气相沉积)
炉膛max温度
1200
工作温度
1100
装载量
50片晶圆
工作室尺寸
根据要求定制
外形尺寸
根据要求定制
类型
退火、氧化、扩散、PECVD、LPCVD
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青岛育豪微电子设备有限公司
4
年
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