化工扩散炉_青岛育豪_LPCVD扩散炉_工厂 加厚材质 超温保护
￥1000000
≥1台 起批
山东-青岛
产品参数
- 品牌 青岛育豪
- 产地 山东 青岛
产品参数
- 品牌 青岛育豪
- 产地 山东 青岛
- 加工定制 是
- 型号 VF-5100
- 产品别名 高温扩散炉
- 产品用途 晶片热处理
- 规格 工艺制程,扩散,氧化,LPCVD,快速退火
- 温度范围 100-1150℃
- 装载量 800片
- 工作温度 200-1250
- 别名 小批量生产晶圆热加工炉
- 适用范围 大气压加工、退火、氧化、扩散、LPCVD（低压化学气相沉积）、PECVD（等离子增强化学气相沉积）
- 炉膛max温度 1200
- 工作室尺寸 根据要求定制
- 外形尺寸 根据要求定制
- 类型 退火、氧化、扩散、PECVD、LPCVD
- 是否跨境货源 否
- 原产地 江苏连云港
- 二氧化硅含量 99.9999
- 熔点 1730
- 莫氏硬度 7
- 密度 2,2
4年
企业认证
