1、电化学法：利用水中臭氧在电活化表面产生的点化学还原作用，点化回路中电流变化曲线与溶液中臭氧浓度成正比，这种仪器具有数据输出功能，可在线测量而且能实现对臭氧发生器的闭环反馈控制，目前在大型水处理工程中应用。
2、碘量法：过去经典的丈量方法，用臭氧化气使碘化钾溶液中的碘油离出来而显色，然后用硫代硫，酸钠滴定还原至无色，以消耗的硫代硫，酸钠数目计算臭氧浓度。此法显色直观，设备便宜，但要用各种药品、洗瓶、量筒、天平、滴定管等化学试验设备，使用不利便，且易受其他氧化剂（如NO/CL等）干扰，此法目前仍为我国的尺度丈量方法。
3、比色法：与碘量法同为化学法，是利用臭氧对化学试剂反应发生的显色或脱色现象确定臭氧浓度，它可用碘化钾、邻联甲苯胺或靛兰染料等多种化学物质，可直接肉眼观察与标准色管或比色盘比较，也可用分光光度计检测，但测试药品是一次性消耗品。
4、紫外吸收法：利用臭氧对波长=254nm紫外光的量大吸收值，使紫外光在臭氧气氛中衰减，再经光电元件、电子电路（比较电路，数据处理，数模转换）得到数据输出，此方法正确，可连续在线量测，但该仪器价格较贵，一般作为检测单位与生产、科研单位使用。