根据相关标准对湿度测试设备湿度偏差的要求，在25℃~65℃的温度范围内，当湿度大于或等于75%RH时，湿度偏差±3%RH，当湿度小于75%RH时，湿度偏差±5%RH。当然也有一些特殊的、比较少使用的试验要求，例如温度85℃、湿度85%RH，温度90℃、湿度95%RH等。
按照度量值传递系统表的要求，允许偏差±1%RH的湿度标准，传递允许偏差±2%RH的二级湿度标准，二级湿度标准传递允许偏差±（2%~7%）RH的湿度工作计量器具。这就要求湿度测量仪器在测量湿度偏差±3%RH的湿度试验设备时，测量误差应小于±1.5%RH。