臭氧技术在我国应用得比较慢，主要是矿泉水等直饮水生产企业、及一些高 档住宅小区分质供水优先采用臭氧发生器进行水处理消毒等。随着人们对臭氧知识了解的不断深入，臭氧发生器高 效 率低成本的广谱消毒功能已经开始逐渐得到广泛应用，现在我国大部分制药、食品厂家已经开始使用臭氧机对生产线及产品进行高 效快速消毒保鲜处理，同时对生产车间进行严格的空气消毒。医院开始采用臭氧机对排污水进行消毒处理后再排放。城市污水处理系统工程也已经开始使用大型臭氧发生器进行消毒除味脱色处理，水果蔬菜残余农药的分解消毒及保鲜处理等等。日本、德国、法国、美国、加拿大、韩国、俄罗斯等国 家的臭氧应用已经产业化，臭氧应用范围已从水处理扩展到化工、食品、医疗、半导体等行业，臭氧直接用于人类治病的实验研究也有较快发展。
臭氧设备是制取臭氧的装置或机器总称（也称臭氧发生器、臭氧机），主要用于发生制取臭氧气体。